2台国产DUV光刻机的问世意味着什么？ - 知乎
所以这台国产65nm的光刻机，其实已经是干式DUV的极限了，也是ArFi（浸润式DUV光刻机）之前的最后一台，接下来只要攻克了浸润式系统，就进入了浸润式光刻机。
中国光刻机发展到哪步了? - 知乎
现在我们正在努力的就是 ArFi 光刻机（波长等效 134nm）， 多出的这个 i 代表加入了沉浸式技术，一旦能够实现突破，那么就等于迈进了 DUV 光刻机中的高端行列。 ArFi 沉浸式光刻机最关键的就是这个 …
上海微电子能在2025年前攻克7nm光刻机吗？ - 知乎
用193nm深紫外光光源的是DUV光刻机了,DUV光刻机分为ArF干法光刻机和ArFi浸润式光刻机， 用13.5nm极紫外光光源的就是EUV光刻机了， 所以, 所谓的28nm光刻机、14nm光刻机，7nm 光刻机 …
如何评价从193nm ArF光源到13.5nm EUV光源的进步，为何这次的波长 …
如何评价从193nm ArF光源到13.5nm EUV光源的进步，为何这次的波长改进对比前几代格外大？
为什么国人面对日本韩国强弱对比时，第一时间认为日本会比韩国强？
Jun 22, 2025 · 很多人喜欢说人潮流动的方向就是文明的方向，可是，哪怕这几年移民日本的数量大量增多，还是比不上韩国（不要忘了，韩国国土可比日本小） 这还是经济和民生，从军事排名讲更别说 …
几千年来日本和朝韩谁对亚洲贡献大？ - 知乎
尼康duv-ArFi准分子激光深紫外光刻机， 尼康FPD超精密曝光机， 东京大学超级神冈中微子探测器， 松浦LUMEX增减材一体化金属3D打印机（SLA光固化+CNC切削）， IPV6级别互联网DNS域名主根服 …
光刻机技术的发展前景如何？ - 知乎
KrF和ArF/ArFi光刻机使用准分子激光器作为光源，利用激发态的分子不稳定性发光，从而得到更短的248nm与193nm的光波长。 其工作原理为氪气与氩气等惰性气体在电场和高压环境下与氟气，氯气 …
俄罗斯光刻机可生产350nm芯片 7nm也会拿下，是什么水平？ - 知乎
May 25, 2024 · 俄罗斯联邦工业和贸易部副部长瓦西里-什帕克指出，该设备可确保生产350nm的芯片。在俄罗斯看来，尽管350n…
其实最搞笑的是很多人压根不知道ASML自己做EUV的时候差点都直接失 …
Dec 19, 2025 · 顺便蔡司在High NA上用了1米2的大镜子，这个光造都有很大难度了。 用中国现在的水平做的话基本属于一个还不如ASML的ArFi的DUV机器，当然你说硬用理论上是能用的，28nm和16nm …
王新喜 - 知乎
Dec 16, 2025 · 文/王新喜 过去光刻机一直被认为是中国芯片产业最大的短板，被称为“半导体工业皇冠上的明珠”，而荷兰ASML是全球芯片光刻技术的领导者，最先进的EUV光刻机，只有它一家能够生 …